一般设备内均配置有真空泵 ,用真空胶管连接设备与真空泵的吸气口, 使整个真空系统处于密封状态。检测设备所配套的真空表时,用三通(或其他同功能器件)将标准真空表连接进入这个真空密闭系统,使其再次成为一个闭合回路。开启真空泵,当设备的真空度接近-0.1MPa时,基本达到设备所用真空度使用范围的极限值。
待示值稳定后,记录下标准真空表压力示值及真空箱所配真空表压力示值。缓慢放开设备的放气阀,使其缓慢且以较均匀的速度放气。在此过程中, 当所配真空表的压力示值指示-0.08MPa、-0.06MPa、-0.04MPa、 -0.02MPa四个点时,关闭设备的放气阀待示值稳定后同时记录标准真空表的压力示值和设备所配真空表的压力示值。这四组示值加上之前的极限值示值, 共五组示值。比较这五组示值的差值,作为各个测试点的真空度偏差。