真空泵机组具有工作压力高、排气量大的低真空泵抽气机组，这类低真空抽气机组主泵常用往复式真空泵、油封式真空泵、水蒸气放射泵、水环泵、罗茨泵等。运用的低真空抽气机组还需根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊恳求，配置必要的除尘器、单调罐等部件。
水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴，并与泵混合构成悬浮液，不只会使真空度降落，也能使泵腔与转子生锈，破坏密封面，使泵的上限真空度降落。为此，防止水蒸气对机械泵的污染很重要。防止的措施有：
1、运用吸水性强的单调剂。
2、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。
3、选用带有气镇装置的油封机械泵。
4、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。
油扩散泵真空系统污染与防治
油扩散泵真空系统是运用普遍的真空系统，其获得真空度范围为1、3×10-3～1、3×10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空装置，长期运用后，常见的缺点是真空度抽不上去，或真空度抽不到原来的上限真空水平。与真空室内壁的油蒸气污染、真空工艺过程各种污染物的污染有关，防止的办法是：
1、定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵中止清洗。
2、定期清洗真空室。
真空泵机组能够适应抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够，或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能，或者是真空系统不允许油污染时更为明显。
